ATS无线晶圆校准测量系统

ATS 无线晶圆校准测量系统 ATS 无线校准测量晶圆系统将机器视觉及传感器模块集成到晶圆上，实现捕获偏移数据（ x 轴、 y 轴），以快速校准晶圆传输位置，在...

ATS无线晶圆校准测量系统

ATS 无线校准测量晶圆系统将机器视觉及传感器模块集成到晶圆上，实现捕获偏移数据（x轴、y轴），以快速校准晶圆传输位置，在半导体制程中提供精确的晶圆定位。

产品优势：

1、实时提供测量参数：能够实时提供测量参数，使得操作人员可以快速调整和优化生产流程，降低耗材费用。

2、实现精确校准：能够提供精确的晶圆传送坐标，确保晶圆在生产过程中的正确定位至关重要，助于提高整个制造过程的效率和产品质量。

3、无线作业方式：ATS 系统的无线操作减少了物理连接的情况，使得晶圆的传输和处理更加灵活和高效。

4、支持过程调整与验证：通过分析在产品工艺条件下收集的参数数据实现调整工艺步骤的条件，以确保最佳性能。

5、轻巧的设计：ATS系统的轻巧设计使其能够适应更多的设备和应用环境，尤其对于空间受限的场合提供更大的灵活性和便捷性。

6、低功耗性能：低功耗的特性实现系统可以在不牺牲性能的前提下长时间运行。