瑞乐Tcwafer热电偶温度传感器(也称测温晶圆)

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TC WAFER是使用特殊加工工艺将耐高温传感器(即TC)镶嵌于晶圆表面特定位置,从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。

TC(ThermoCouple)为热电偶的简称,Wafer即晶圆。通过TCWafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况;也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化,比如:升温,降温,恒温过程及延迟时间等!(获得炉温温度的均匀性数据,从而控制良率等)。

瑞乐是专业的 TC wafer 制造商。在半导体厂的生产工艺中。 有许多高温的工艺需要精准的温度控制,来达到晶圆薄膜厚度,应力等参数的要求,所以一个测量精度高、稳定性好的TC Wafer 是非常重要的。

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图1  TC Wafer工程示意图

·基本参数

1. 晶圆尺寸:可提供2” 4”6”8”12”不同尺寸不同材质晶圆片;

2. 可按不同测温点要求定制各线段材质及长度,以及接头型式;

3. 测温范围:可根据要求设计RT~1200℃;

4. 最大测温点:可根据客户要求定制

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5. 测量精度:±1.1℃/±0.4%(Type K );

6. 使用环境:普通状态/真空环境;

7. 具有优秀的软件功能,可实时显示温度场剖面图及实时升温曲线图;

8. 测量数据自动保存。

 

·应用场景

1. 半导体制造厂 Fab,硅片厂,晶圆制造厂

2. 封装测试厂

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半导体设备制造商

5. 高温工艺设备腔体温度的监控

 

·我们的优势

精度高、交期短、服务响应快。

·服务内容

1.产品定制;

2.TC wafer 维修,包括测温点脱胶、热电偶更换等。

 

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