【晶圆测温系统】刻蚀设备RTD

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广东瑞乐科技专注于高精度温测、温控设备的生产和研发定做,为半导体行业提供科学的国产解决方法,更多有关快速退火炉  TC Wafer  晶圆测温系统资讯请关注瑞乐官网

 

刻蚀设备RTD晶圆测温系统(RTDWafer)

RTD WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT

SYSTEM FOR ETCHING EQUIPMENT

Thermo-349R【晶圆测温系统

 

Thermo-349R系列RTD晶圆温度测量系统,可用于8-12英寸晶圆配置,记录等离子刻蚀工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响。Thermo-349R温度测量系统包含高精度温度传感器,能够实现晶圆整体温度监测,而这与半导体刻蚀工艺的均匀性控制密切相关。配合TCWafer温度数据读取适配的多功能仪器。内含软件可以读取TCWafer测温数据并进行分析。

 

产品特点

传输通道数量可定制;

优异的软件功能,可用图形及颜色显示温度分布状况;

数据可储存调用;

可提供各个量温点的温度曲线图及温度剖面图。晶圆测温系统

晶圆测温系统广东瑞乐科技专注于高精度温测、温控设备的生产和研发定做,为半导体行业提供科学的国产解决方法,更多有关快速退火炉  TC Wafer  晶圆测温系统资讯请关注瑞乐官网

 

 

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