晶圆生产完成后,需要对其进行各种参数的检测,在检测的过程中,需要在不同温度下进行测试,晶圆测试用温控设备(晶圆测试温控系统)是高精度,高分辨率,高稳定性的控制设备。

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晶圆温度管理系统

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