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  • 瑞乐Tcwafer热电偶温度传感器(也称测温晶圆)

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    TC WAFER是使用特殊加工工艺将耐高温传感器(即TC)镶嵌于晶圆表面特定位置,从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。 TC(ThermoCouple)为热电偶的简称,Wafer即晶圆。通过TCWafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况;也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化,比如:升温,降温,恒温过程及延迟时间等...

  • 碳化硅快速退火炉,瑞乐碳化硅载盘简介

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    碳化硅载盘(也成碳化硅托盘)在半导体行业具有广泛应用,CVD、RTP/RTA、真空溅射、刻蚀、蒸镀、气体沉淀等,比如,在对衬底进行刻蚀时,需通过碳化硅载盘承载半导体衬底。 碳化硅载盘材质成分是纯SiC(纯度>99.9%),与石墨基载盘相比,其使用寿命是后者的四倍,且长期使用不变形,稳定性好,能够耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀(比如FH酸、浓H2SO4)。SiC载...

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