热电偶作用:直接测量温度【晶圆测温系统】
在温度测量中，热电偶的使用极为广泛，它具有结构简单、制造便捷、测量范围广、精度高、惯性小和输出信号有利于远传等很多优点。此外，因为热电偶是一类有源传感器，测量时不需外加电源，操作非常方便，所以常被用作测量炉子、管道内的气体或液体温度及固体的外表温度
热电偶的工作原理
当有两种不同导体或半导体A和B组成一个回路，其两端相互连接时，如果两结点处的温度不同，一端温度为T，称之为工作端或热端，另一端温度为T0，称之为自由端(也称参考端)或冷端，回路中将形成一个电动势，该电动势的方向和大小和导体材料与两接点温度相关【晶圆测温系统】
这类现条称之为“热电效应”，2种导体所组成的回路称之为“热电偶"，这两类导体称之为“热电极”，所产生的电动势则称为“热电动势”
热电偶的特点【晶圆测温系统】
1、装配简易，替换便捷
2压簧式感温元件，抗表性能好
3、测量精度高
测量范围大(-200C~1300C，特殊情况下-270°C~2800C):
5、热响应时间快:
6、机械强度高，耐压性能强
7、耐高温可以达到2800度:
8.使用寿命长
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