阐述了半导体材料的电阻率随温度动态变化及检测方法。【晶圆测温系统】
1.半导体电阻率随温度波动什么样的
常温下，半导体的电阻率一般比金属和导体大得多。和金属不一样的是，半导体电阻率一般会随着温度上升而降低，这被称作反常电阻率效应。
半导体电阻率随温度波动的具体规律性在于半导体自身的特点，常见的就是：【晶圆测温系统】
金属试品：电阻率随温度线性加强
硅：电阻率随温度呈现负温度系数，即随温度上升而减少
锗：电阻率也呈现出负温度系数
2.半导体的电阻率怎么测量
半导体的电阻率测量通常使用四探针法。四探针法是一种精准测量材质电阻率的办法，它能消除接触电阻和引线电阻的影响，特别适合半导体这种高阻材质。
其基本概念要在待测试品上施加一个小电流，根据四根探针测量试品表层的电势差来计算出电阻率。为了保证测量精度，必须通过空气大气压力、温度等因素的校正来减少误差。【晶圆测温系统】
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